國(guó)內(nèi)又一家企業(yè)光刻膠產(chǎn)品取得新進(jìn)展，上海新陽(yáng)(300236.SZ)6月30日盤后發(fā)布公告稱，公司自主研發(fā)的KrF(248nm)厚膜光刻膠已通過(guò)客戶驗(yàn)證，并取得首筆訂單。公司相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，這個(gè)產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化是公司第三大核心技術(shù)——光刻技術(shù)的重要方向之一，首筆訂單已經(jīng)取得，后續(xù)該產(chǎn)品將進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化階段。

隨著全球缺芯潮繼續(xù)蔓延，晶圓代工廠的擴(kuò)產(chǎn)勢(shì)能已傳導(dǎo)至產(chǎn)業(yè)鏈上游。而光刻膠作為半導(dǎo)體光刻工藝的核心材料，仍面臨較大缺口。

當(dāng)下國(guó)產(chǎn)光刻膠與國(guó)外差距較大，用于生產(chǎn)6英寸硅片的g/i線光刻膠自給率為20%，生產(chǎn)8英寸硅片的KrF光刻膠自給率不足5%，制程更高的ArF和EUV膠則尚無(wú)量產(chǎn)，中高端光刻膠的市場(chǎng)份額幾乎被海外龍頭壟斷。

早前受福島地震影響，全球光刻膠龍頭之一的日本信越化學(xué)產(chǎn)能受限，并限制對(duì)華出口KrF光刻膠，進(jìn)一步加劇了國(guó)內(nèi)光刻膠供應(yīng)緊張局面。目前KrF光刻膠在國(guó)內(nèi)僅有彤程新材(603650.SH)的子公司北京科華實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，產(chǎn)能為10噸/年左右。

限供和缺貨也加速了光刻膠在本土下游晶圓廠的驗(yàn)證。除此次發(fā)布公告的上海新陽(yáng)外，南大光電(300346.SZ)自主研發(fā)的ArF光刻膠于近日通過(guò)第二家客戶驗(yàn)證，并獲小批量訂單;晶瑞股份(300655.SZ)的KrF光刻膠亦進(jìn)入客戶驗(yàn)證尾期。據(jù)業(yè)內(nèi)人士介紹，通常情況下，光刻膠研發(fā)投產(chǎn)后，需經(jīng)12～18個(gè)月的客戶驗(yàn)證周期。

在國(guó)產(chǎn)化良機(jī)推動(dòng)下，上述公司也在加碼半導(dǎo)體光刻膠的相關(guān)研發(fā)和產(chǎn)能建設(shè)。上海新陽(yáng)和晶瑞股份都在今年上半年購(gòu)入ASML光刻機(jī)，用于濕法ArF光刻膠的研發(fā);彤程新材則在5月發(fā)布公告稱，子公司彤程電子投資5.7億元在上海建設(shè)年產(chǎn)1.1萬(wàn)噸半導(dǎo)體、平板顯示用光刻膠及2萬(wàn)噸相關(guān)配套試劑項(xiàng)目。

關(guān)鍵詞： 全球 晶圓 產(chǎn)業(yè)鏈